
国度常识产权局信息流露,长三角物理无间中心有限公司苦求一项名为“基于离子束能量调控的类金刚石碳薄膜的制备门径”的专利,公开号CN122105301A,苦求日历为2026年4月。
专利摘录流露,本发明波及类金刚石碳薄膜制备门径本事鸿沟,具体公开了一种基于离子束能量调控的类金刚石碳薄膜的制备门径,包括:S1、基底预不断;S2、制备金属过渡层;通过物理气相千里积工艺以700‑900eV的主离子束、80‑220℃轰击铬靶或/和钨靶0.5‑2h在基体名义赢得;S3、制备名义改性层;以石墨靶为碳源并引入含氟或含钨的掺杂源,雨燕直播2026世界杯赛事直播入口通过主离子束100‑300℃轰击石墨靶2‑4h在金属过渡层名义千里积得到,主离子束能量700‑900eV、束流63‑81mA且束流能量比为0.09;S4、低温退火。本发明制得的DLC薄膜与基底相连力强且低摩擦性、高耐磨性、力学性能好,重载、冲击、往返摩擦等严苛工况下的入伍寿命长。
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